趙工
13795314325
在線客服
用心服務(wù)成就你我
采購(gòu)認(rèn)準(zhǔn)“上海維特銳"，19年進(jìn)口工業(yè)備件代理銷售老公司，德國(guó)采購(gòu)公司原廠訂貨，安排航運(yùn)到貨中國(guó)，自己清關(guān)報(bào)關(guān)一站式服務(wù)。為您提供更多高品質(zhì)進(jìn)口工業(yè)品。
Brooks Instrument流量控制器技術(shù)資料
布魯克斯5850EMH系列高溫?zé)崾劫|(zhì)量流量控制器可滿足高溫苛刻條件應(yīng)用需求的高純度流路
現(xiàn)今許多高級(jí)電子元器件的加工工藝都需要能夠?qū)Π嘿F的超純氣體和液態(tài)前體進(jìn)行相當(dāng)準(zhǔn)確并且具有高度可重現(xiàn)性的測(cè)定和控制。因此，布魯克斯儀器推出了自家的高溫金屬封裝熱質(zhì)量流量控制器和儀表來滿足上述需求。該產(chǎn)品將穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性超高的測(cè)量傳感器與快速、精準(zhǔn)的控制閥以及功能強(qiáng)大的電子元件相結(jié)合共同實(shí)現(xiàn)了精準(zhǔn)的化學(xué)品控制。高完整性（無泄漏）的超高純度全金屬流路可確保過程化學(xué)品純度，該流路專為防止外部污染（如濕氣和氧氣）腐蝕過程媒介而設(shè)計(jì)。
應(yīng)用
光纖制造 - MCVD
硅材料半導(dǎo)體器件加工工藝
CVD（蒸汽形式的前體輸送）
剝落（水蒸氣）
腐蝕（水蒸氣鈍化）
參數(shù)
流體類型 氣體 , 水汽
流量范圍 滿量程容量3 sccm - 10 slm
精度 SP ±1%
最大壓力 145 psig
溫度 150℃
以上內(nèi)容由上海維特銳提供；詳情請(qǐng)點(diǎn)擊：Brooks Instrument流量控制器技術(shù)資料